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氮 化 鎵 （ G a N ） 器 件 應 用 技 術 , 氮 化 鎵 器 件 發 展 動 向 G a N H E M T 氮 化 鎵 科 技 匯 首 頁 技 術 前 瞻 氮 化 鎵 功 率 器 件 氮 化 鎵 M O S 氮 化 鎵 二 極 管 關 于 我 們 技 術 前 瞻 用 熱 反 射 測 溫 技 術 測 量 G a N H E M T 的 瞬 態 2 0 2 2 0 4 0 1 閱 讀 ( 1 6 5 3 ) 第 三 代 半 導 體 器 件 C a N 高 電 子 遷 移 率 晶 體 管 （ H E M T ） 具 備 較 高 的 功 率 密 度 ， 同 時 具 有 較 強 的 自 熱 效 應 ， 在 大 功 率 工 作 條 件 下 會 產 生 較 高 的 結 溫 。 根 據 半 導 體 器 件 . . . 技 術 前 瞻 氮 化 鎵 中 鉻 含 量 的 二 次 離 子 質 譜 分 2 0 2 1 1 2 0 7 閱 讀 ( 6 1 0 ) 氮 化 鎵 材 料 禁 帶 寬 度 較 大 ， 是 寬 禁 帶 半 導 體 之 一 ， 被 廣 泛 用 作 微 波 功 率 晶 體 管 和 藍 色 光 發 光 器 件 的 生 產 制 造 原 材 料 。 氮 化 鎵 材 料 的 探 究 與 使 用 是 目 前 全 世 界 . . . 氮 化 鎵 功 率 器 件 一 種 陽 極 連 接 P 型 埋 層 的 A l G a N / G a N 肖 特 2 0 2 1 0 9 2 4 閱 讀 ( 1 6 3 1 ) 最 近 ， A l G a N / G a N 肖 特 基 二 極 管 （ S B D ） 受 到 了 越 來 越 多 的 關 注 。 該 器 件 具 有 關 斷 速 度 快 、 擊 穿 電 壓 高 導 通 電 阻 小 等 特 點 ， 因 而 被 業 界 廣 泛 地 認 為 是 下 一 代 功 率 器 . . . 氮 化 鎵 功 率 器 件 絕 緣 柵 H E M T 器 件 界 面 固 定 電 荷 分 析 2 0 2 1 0 9 1 4 閱 讀 ( 2 5 2 3 ) 絕 緣 柵 H E M T 器 件 中 除 了 存 在 界 面 態 外 ， 柵 絕 緣 層 還 會 在 界 面 引 入 固 定 電 荷 和 體 電 荷 ， 研 究 表 明 柵 絕 緣 層 與 氮 化 物 勢 壘 層 之 間 界 面 固 定 電 荷 密 度 可 以 高 達 1 0 1 3 . . . 技 術 前 瞻 A l 2 O 3 / A I N / A I G a N / G a N M I S H E M T 器 件 結 構 與 特 2 0 2 1 0 3 0 9 閱 讀 ( 3 2 9 2 ) 1 . 器 件 結 構 與 工 藝 通 過 A l N 柵 介 質 層 M I S H E M T 和 A l 2 O 3 柵 介 質 層 M O S H E M T 器 件 對 比 研 究 發 現 ， P E A L D 沉 積 A l N 柵 絕 緣 層 可 以 大 幅 改 善 絕 緣 柵 器 件 的 界 面 和 溝 道 輸 運 特 性 ； 但 . . . 技 術 前 瞻 A I N / A I G a N / G a N M I S 異 質 結 構 C V 分 析 2 0 2 1 0 1 1 3 閱 讀 ( 4 2 9 4 ) C V 測 試 是 研 究 絕 緣 柵 H E M T 器 件 性 能 的 重 要 方 法 ， 采 用 K e i t h l e y 4 2 0 0 半 導 體 表 征 系 統 的 C V U 模 塊 測 量 了 肖 特 基 柵 和 絕 緣 柵 異 質 結 構 的 C V 特 性 。 1 . C V 曲 線 及 載 流 子 濃 . . . 技 術 前 瞻 4 英 寸 半 絕 緣 自 支 撐 氮 化 鎵 晶 圓 片 量 2 0 2 0 1 2 1 6 閱 讀 ( 2 1 6 1 ) 由 于 同 質 外 延 結 構 帶 來 的 晶 格 匹 配 和 熱 匹 配 ， 自 支 撐 氮 化 鎵 襯 底 在 提 升 氮 化 鎵 基 器 件 性 能 方 面 有 著 巨 大 潛 力 ， 如 發 光 二 極 管 ， 激 光 二 極 管 ， 功 率 器 件 和 射 頻 . . . 氮 化 鎵 功 率 器 件 A I N / A I G a N / G a N M I S H E M T 器 件 直 流 特 性 2 0 2 0 1 1 0 3 閱 讀 ( 4 6 4 8 ) 1 . 柵 漏 電 分 析 關 態 漏 電 是 制 約 H E M T 器 件 性 能 提 升 的 重 要 因 素 之 一 ， 采 用 絕 緣 柵 H E M T 器 件 結 構 可 以 有 效 減 小 器 件 關 態 漏 電 。 圖 1 給 出 了 S H E M T 、 M I S H E M T 、 M O S H E M T 三 種 . . . 氮 化 鎵 功 率 器 件 A l N / A I G a N / G a N M I S H E M T 器 件 制 作 2 0 2 0 1 0 2 7 閱 讀 ( 3 2 6 2 ) 1 . 器 件 結 構 與 工 藝 絕 緣 柵 和 肖 特 基 柵 H E M T 器 件 結 構 如 圖 1 所 示 ， A l G a N / G a N 異 質 結 采 用 M O C V D 技 術 在 2 英 寸 c 面 藍 寶 石 襯 底 上 外 延 得 到 ， 由 下 往 上 依 次 為 1 8 0 n m 高 溫 A l N 成 核 . . . 氮 化 鎵 功 率 器 件 A l N 鈍 化 器 件 電 流 崩 塌 分 析 2 0 2 0 1 0 2 1 閱 讀 ( 2 8 1 6 ) 電 流 崩 塌 和 關 態 柵 漏 電 一 樣 ， 是 制 約 G a N 基 H E M T 器 件 發 展 的 非 常 重 要 的 因 素 之 一 ， 一 方 面 表 現 為 ， 在 脈 沖 測 試 條 件 下 漏 極 輸 出 電 流 與 直 流 特 性 相 比 大 幅 減 小 ； 另 . . . 關 于 本 站 氮 化 鎵 科 技 匯 （ G a N H E M T ） 是 氮 化 鎵 器 件 資 訊 類 網 站 ， 以 氮 化 鎵 器 件 為 中 心 ， 從 晶 圓 制 造 ， 到 器 件 應 用 。 希 望 各 位 同 仁 提 出 寶 貴 意 見 ， 聯 系 電 話 ： + 8 6 7 5 5 2 9 6 9 1 3 1 0 郵 箱 ： m a r k e t i n g @ h s m s e m i . c o m 最 近 發 表 用 熱 反 射 測 溫 技 術 測 量 G a N H E M T 的 瞬 態 氮 化 鎵 中 鉻 含 量 的 二 次 離 子 質 譜 分 一 種 陽 極 連 接 P 型 埋 層 的 A l G a N / G a N 肖 特 絕 緣 柵 H E M T 器 件 界 面 固 定 電 荷 分 析 A l 2 O 3 / A I N / A I G a N / G a N M I S H E M T 器 件 結 構 與 特 A I N / A I G a N / G a N M I S 異 質 結 構 C V 分 析 4 英 寸 半 絕 緣 自 支 撐 氮 化 鎵 晶 圓 片 量 A I N / A I G a N / G a N M I S H E M T 器 件 直 流 特 性 A l N / A I G a N / G a N M I S H E M T 器 件 制 作 A l N 鈍 化 器 件 電 流 崩 塌 分 析 友 情 鏈 接 I G B T 模 塊 快 恢 復 二 極 管 晶 振 氮 化 鎵 （ G a N ） 器 件 應 用 技 術 , 氮 化 鎵 器 件 發 展 動 向 G a N H E M T 氮 化 鎵 科 技 匯 注 意 ： 本 站 內 容 均 轉 載 整 理 自 互 聯 網 ， 如 有 侵 犯 權 益 ， 請 聯 系 我 們 刪 除 C o p y r i g h t ? 2 0 1 8 2 0 1 9 版 權 所 有 粵 I C P 備 1 6 0 5 7 8 3 9 號

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